ABB OA-ICOS GLA231 系列，支持 HF、HCI、NH₃ 的單氣體或多氣體配置：

OA-ICOS™ GLA231-EAA：NH₃ 和 H₂O 高性能機架式分析儀

OA-ICOS™ GLA231-HF：HF 和 H₂O 高性能機架式分析儀

OA-ICOS™ GLA231-HFHC：HCl、HF 和 H₂O 高性能機架式分析儀

OA-ICOS GLA231系列高性能機架式分析儀

概述

ABB OA-ICOS 氣體分析儀繼承了 Los Gatos Research 的優(yōu)良傳統和輝煌業(yè)績(jì)，采用離軸積分腔輸出光譜（OAICOS）技術(shù)，這是第四代腔增強吸收技術(shù)。

OA-ICOSTM 工業(yè)痕量氣體分析儀旨在以?xún)?yōu)異的靈敏度、準確度、精密度和響應時(shí)間，滿(mǎn)足客戶(hù)的苛刻要求。它簡(jiǎn)單易用，可在幾分鐘內啟動(dòng)，無(wú)需現場(chǎng)校準，并且只需極少的預防性維護。

該系列氣體分析儀非常適用于：

• 空氣分子污染（AMC）監測：用于確保半導體晶圓廠(chǎng)（FAB）工藝和人員的健康安全

• 前開(kāi)式晶圓傳送盒（FOUP）和氣相沉積室監測與傳統的光腔衰蕩光譜技術(shù)相比，離軸 ICOS 技術(shù)具有諸多優(yōu)勢，例如：更加可靠耐用、更短測量時(shí)間、使用的光腔和反射鏡可現場(chǎng)維修。

所有 ABB 儀器均內置計算機（采用 Linux 操作系統），該計算機會(huì )將每次分析的結果和相關(guān)指標存儲在內部硬盤(pán)上，從而實(shí)現無(wú)需人員值守的長(cháng)期運行。相關(guān)數據則可以通過(guò)模擬、數字（RS232）和 ModbusTM1 的輸出方式源源不斷地導出。此外，這系列儀器還可以通過(guò)互聯(lián)網(wǎng)遠程控制，用戶(hù)無(wú)需身處現場(chǎng)，就可以控制儀器、從儀器中獲取數據，以及對儀器進(jìn)行診斷。該系列儀器還可以保存所測氣體的完整光譜，用于故障排除，甚至在過(guò)程發(fā)生意外變動(dòng)后，遠程優(yōu)化分析儀。

功能和優(yōu)勢

• 支持 HF、HCI、NH3 的單氣體或多氣體配置

• 提供高精度、準確的 H2O 測量結果

• 提供 0-5V 和 4-20 mA 模擬輸出（標配），以及Modbus TCP（選購）

• 優(yōu)化數據處理，在測量亞 ppb 級別濃度時(shí)，實(shí)現優(yōu)異性能

• 提供觸控數字顯示屏，顯示氣體濃度和分析儀的狀態(tài)

• 提供主要密碼保護，確保分析儀和數據安全

• 經(jīng)過(guò)優(yōu)化的零氣性能，以可靠地確認過(guò)程事件

• 提供可定制的校準套件和性能認證文件包

• 堅固耐用；所需的維護工作很少并且花費較低

• 可輕松更換長(cháng)期受到污染的部件（過(guò)濾器）和正常老化部件（泵隔膜）

• 服務(wù)工程師可現場(chǎng)診斷并更換其他大多數部件

• 鏡面清潔可現場(chǎng)進(jìn)行，無(wú)需在工廠(chǎng)費時(shí)維修